SF6 có thể được điều chế từ các nguyên tố thông qua phản ứng của S8 và F2. Đây cũng là phương pháp được sử dụng bởi các nhà phát minh Henri Moissan và Paul Lebeau năm 1901. Một số lưu huỳnh fluoride khác được tạo ra đồng thời, nhưng những chất này được loại bỏ bằng cách nung nóng hỗn hợp để phân hủy S2F10 (có tính độc hại cao) và sau đó làm sạch sản phẩm bằng NaOH để tạo thành SF6. 

Ngoài ra, sử dụng brom, lưu huỳnh hexafluoride có thể được tổng hợp từ SF4 và CoF3 ở nhiệt độ thấp hơn (100 ℃), như sau:[6]

Hầu như không có phản ứng hóa học cho SF6. Đặc điểm chính của SF6 là sự cản trở steric của nguyên tử lưu huỳnh, trong khi các hexafluoride nhóm 16 của nó nặng hơn, SeF6 có phản ứng mạnh hơn SF6 do những trở ngại ít hơn steric.[7] Nó không phản ứng với natri nóng chảy dưới điểm sôi của nó,[8] nhưng phản ứng với nhiệt lượng bằng lithi.